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電子半導體行業(yè)超純水EDI系統







1,電子半導體行業(yè)

★水質(zhì)要求
  微電子工業(yè)、集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質(zhì)的要求也越高,這也對超純水處理工藝及產(chǎn)品的簡(jiǎn)易性、自動(dòng)化程度、生產(chǎn)的連續性、可持續性等提出了更加嚴格的要求。
  中國電子工業(yè)部電子級水質(zhì)技術(shù)標準(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準)

★工藝流程
   ☆二級反滲透制備超純水工藝流程    
     預處理(砂濾器、碳濾器、軟化器) →一級反滲透裝置→中間水箱→二級反滲透裝置 →超純水水箱→純水泵→用水點(diǎn)    
   ☆一級反滲透+混床制備超純水工藝流程    
     預處理→一級反滲透裝置→精制混床→精密過(guò)濾器→超純水水箱→純水泵→用水點(diǎn)
   ☆二級反滲透+拋光混床制備超純水工藝流程     
     預處理→一級反滲透裝置→中間水箱→二級反滲透裝置→拋光混床→精密過(guò)濾器→超純水水箱→純水泵→用水點(diǎn)   
   ☆二級反滲透+EDI+拋光混床制備超純水工藝流程     (電阻率18MΩ.cm) 
     預處理→一級反滲透裝置→中間水箱→二級反滲透裝置→EDI主機→超純水水箱→純水泵→拋光混床→超純水水箱→純水泵→用水點(diǎn)

☆EDI超純水設備技術(shù)簡(jiǎn)介

昆山市盛泓水處理設備有限公司---EDI設備/EDI超純水/EDI去離子水/EDI高純水設備技術(shù)簡(jiǎn)介

1. EDI設備/EDI超純水/EDI去離子水/EDI高純水設備的技術(shù)特點(diǎn)
電去離子(EDI)技術(shù)是一種將電滲析和離子交換有機結合在一起的脫鹽新工藝,英文名稱(chēng)electrodeionization,縮寫(xiě)EDI,該工藝過(guò)程取電滲析和離子交換兩者之長(cháng),彌補對方之短,即利用離子交換深度脫鹽來(lái)克服電滲析極化而脫鹽不徹底,又利用電滲析極化而發(fā)生水電離產(chǎn)生H+和OH-實(shí)現樹(shù)脂自再生來(lái)克服樹(shù)脂失效后通過(guò)化學(xué)藥劑再生的缺陷。因而EDI技術(shù)是一種完美的除鹽工藝。
2. EDI設備/EDI超純水/EDI去離子水/EDI高純水設備技術(shù)的先進(jìn)性
*不需化學(xué)再生藥劑,生產(chǎn)過(guò)程無(wú)任何污染,屬清潔生產(chǎn);
*不需停機再生,連續生產(chǎn)水質(zhì)穩定的高純水(15~18MΩ·cm);
*運行穩定可靠,維護簡(jiǎn)單、運行費用低;
*占地面積小,節約場(chǎng)地建設費用。
3. EDI設備/EDI超純水/EDI去離子水/EDI高純水設備的主要作用和適用范圍
EDI的作用是精除鹽。在使用RO滲透水脫除97~99%離子的前提下,EDI可直接將反滲透產(chǎn)水提純到純水、高純水、超純水的標準,而無(wú)需使用離子交換混床,其產(chǎn)水的電阻率最高可達18MΩ·cm。
EDI設備在對水質(zhì)要求較高的行業(yè)中具有廣泛的應用市場(chǎng)。在電子工業(yè)、科研實(shí)驗室、檢驗分析行業(yè)常用EDI制取18MΩ·cm以上的超純水,在精細化工、發(fā)電、電鍍行業(yè)常用EDI制取15MΩ·cm以上的高純水,在醫院和制藥行業(yè)常用EDI制取5MΩ·cm以上的純化水,在食品飲料行業(yè)應用EDI制取0.5MΩ·cm以上的初純水等。
4. EDI設備/EDI超純水/EDI去離子水/EDI高純水設備的工作原理
EDI電去離子膜堆同時(shí)進(jìn)行以下三個(gè)主要過(guò)程:
1)在純水室中, 陰、陽(yáng)混合離子交換樹(shù)脂上的OH- 和H+離子對水中電解質(zhì)離子的離子交換過(guò)程;
2)在外電場(chǎng)作用下,純水室水中電解質(zhì)離子通過(guò)離子交換膜被遷移到濃水室的電滲析過(guò)程;
3)電滲析的極化及交換樹(shù)脂本身的水解作用所產(chǎn)生的H+和OH-對交換樹(shù)脂的再生過(guò)程。這三個(gè)過(guò)程同時(shí)發(fā)生,相互促進(jìn),從而實(shí)現了EDI連續不斷地生產(chǎn)高電阻率的超純水的目標。


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